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一、核心应用场景
单晶硅生长
高纯石英砂(SiO₂≥99.998%)用于制造石英坩埚,盛装熔融硅并拉制单晶硅棒,其纯度直接影响硅晶体的质量和芯片良率。
纯度每提升0.1%,芯片良率可能提高10%以上,因此4N8(99.998%)及以上级别石英砂是高端半导体的必需品。
晶圆加工设备
石英砂用于制造石英玻璃扩散管、石英舟、光掩膜基板等关键部件,在刻蚀、氧化、扩散等工艺中保障高温稳定性和抗污染能力。
半导体级石英砂需满足13种杂质元素总质量分数≤1.7×10⁻⁵的严苛标准,以确保晶圆加工环境洁净度。
光刻工艺
合成石英砂用于光刻机镜头、光掩膜等光学元件,支撑10nm以下制程的精度要求,直接影响芯片电路图形的分辨率。
光掩模板需通过高纯度石英砂制备,以保证掩膜透光率和图形投影精度。
半导体器件制造
石英坩埚、石英管、外层料等产品需使用低铁、低羟基的高纯石英砂,确保耐高温性、抗析晶性和高强度特性。
石英玻璃钟罩、舟支架等部件应用于硅片清洗、多晶硅还原等环节,直接影响半导体集成电路性能。
二、技术指标与行业挑战
纯度要求:半导体级石英砂需达到4N5(99.995%)至4N8(99.998%)标准,杂质元素(如Fe、Al、B)需严格控制在ppm级。
全球格局:美国矽比科(尤尼明)和挪威TQC垄断全球高端市场80%以上份额,中国石英股份已量产4N8级砂,成本为进口的50%,加速国产替代进程。
技术壁垒:从矿石到4N8级产品需经历定向除杂、高温氯化等复杂工艺,国内企业(如壹石通)正突破合成技术以降低对稀缺天然矿的依赖。
三、产业链影响
战略资源属性:高纯石英砂是半导体产业链上游核心材料,验证周期长(需1-2年认证),直接影响芯片产能稳定性和成本结构。
国产化趋势:国内企业通过技术迭代打破垄断,例如新型制备工艺可减少对进口矿石依赖,预计2025年实现单晶硅坩埚内层砂规模化替代。
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